| 型號 | HPS-LCX3000 |
| 線長(mm) | 10 |
| X方向分辨率(μm) | 4.9 |
| Z方向可重復(fù)性*1(μm) | 0.4 |
| 工作距離(mm) | 22 |
| 量程(mm) | 6 |
| 全量程下掃描速率(Hz) | 5000*2 |
| 最大掃描速率*4(Hz) | 35000 |
| X方向點(diǎn)數(shù) | 2048 |
| 鏡面下角度兼容性(deg) | ±22 |
| 尺寸（寬x高x深）(mm) | 416x424x108 |
| 重量 | 約12.4kg |
| 功率 | 35W |
| 防護(hù)等級（EN 60529） | IP55 |
| 工作環(huán)境溫度 | +15~+35℃ |
| 電源 | DC 24V，3.75A |
| 連接方式 | 40G光纖 |
| 數(shù)字量輸入 | 光耦輸入輸出 |
*1 該數(shù)值為3σ值，是在我司無塵實驗室光學(xué)平臺下測得的鏡面標(biāo)準(zhǔn)塊的數(shù)值，輪廓數(shù)200000，積分時間200μs，手動調(diào)光信號強(qiáng)度至20%；
*2 此速率下X方向掃描點(diǎn)數(shù)為1024點(diǎn)，2048點(diǎn)時全量程掃描速率為2500Hz；
*3 此速率下X方向掃描點(diǎn)數(shù)為1024點(diǎn)，2048點(diǎn)時全量程掃描速率為3100Hz；
*4 此時Z方向量程為全量程的1/8；
